생산용진공설비 - process vacuum system

기름회전펌프, 드라이펌프 등의 진공펌프, 진공 탱크 및 배관설비로 구성되어 진공핀셋, 제조장치 등으로 저진공을 공급하는 설비. 박막형성, 식각공정 등에 필요한 고진공은, 제조장치단독으로 설치된 분자펌프, 클라이오펌프 등으로 공급된다.