프로세스시뮬레이션 - process simulation

반도체소자제조공정에서 산화와 확산 등의 열처리에 의한 Si 웨이퍼는 물리적, 화학적으로 변화하기 때문에, 웨이퍼제조공정 중의 소자제조공정에 가까운 열처리를 실시하는 소자의 제조공정에 대응되는 Si 웨이퍼의 사양을 결정하기 위하여 사용되는 모델열처리.