공정복합화 - process integration

공정개발에 대한 투자억제를 고려한 결과, 반도체제조장치내에 일정한 조건과 환경에서 몇 개의 공정을 연결하고 처리를 반복해, 같은 웨이퍼 위에서 여러 공정을 하는 것으로 생산효율을 높이는 기술. 예를들어, in-situ에서 식각과 스퍼터링 등의 일련의 처리를 시행하면서 회수하는 멀티챔버장치 등이 권장되고 있다.