공정 유도입자 계수기 - process induced particle counter

엄격한 시료기체 누설방지장치를 갖고 있으며, 가스가 통하는 파이프 내벽의 잔류불순물을 충분히 제거하는 광산란입자 계수기. 반도체소자제조에 이용되는 원료가스 그리고, CVD, 이온투입 장치 등 압력이 낮은 챔버 내의 부유미립자를 감시한다.