일차순수 - primary pure water

전처리장치의 처리수 중에 준재하는 이온, 미립자, 미생물, 유기물 등의 불순물을 대부분 제거한 고순도의 물. 비저항값 5～18MΩ․㎠ 정도의 순수가 사용되는 케이스도 있지만, 보통은 후단에 설치된 서브시스템의 원수를 말한다. 즉, 이온만을 제거한 저순도의 물을 단순히 탈이온수, 혹은 순수라고 한다.