팝핑현상 - poping

많은 양의 이온을 주입할 경우, 레지스트 표면에 수소원자가 빠져나가, 남아있는 탄소가 딱딱한 층을 만든다. 애싱속도를 증가시키기 위해 레지스트를 가열하면, 표면이 변질되어 크랙이 발생하고, 내부에서는 가스가 발생한다. 이때, 플라즈마처리를 하면, 표면의 크랙으로 라디칼이 침투하여 표면이 깨지면서 가스가 분출되는 현상.