포드 - pod

고도의 국소 청정화 기술로 청정실의 비용을 줄일 목적으로, 처리할 대상(웨이퍼)을 수납하여 보존, 반송하는 밀봉된 용기의 총칭. 밑에 주요 구성요소를 선택하여 조합하면 4가지 종류가 나온다. *용기내부의 웨이퍼를 지지하는 카세트 부분이 용기와 다른구조인가, 같은 구조인가 (카세트부분이 분리되는가, 분리되지 않는가) *개구부(開口部)각 앞면에 있는가, 밑면에 있는가