플라즈마 CVD장치 - plasma enhanced CVD system

저압 상태에서, 반응성가스의 플라즈마 방전분해에 의해 박막을 성장하는 CVD장치의 총칭. 열CVD법과 달리, 비교적 저온에서 CVD반응이 이루어지는 것이 특징. 플라즈마 발생에너지를, 주로 주파수에 의해 분류하여, 고주파플라즈마, 마이크로파플라즈마, ECR플라즈마 등의 각종 장치가 있다.