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플라즈마 애싱 장치 - plasma ashing system
기술용어통 반디통 용어집
반응성가스의 플라즈마를 발생시켜, 이 플라즈마를 이용하여 레지스트를 제거하는 장치. 보통, 산소 플라즈마가 사용된다.
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