PID 온도제어 - PID temperature control

기술용어통 반디통 용어집
대표적인 공정온도제어방식의 하나로써, P(proportional, 비례), I(integral, 적분), D(derivative, 미분)의 세 가지 기본 연산을 이용하여, 목표값과 현재값의 차이를 제어량(전기적 신호)으로 변환하는 것. PID 각 파라메터가 변할 때의 제어특성의 변화를 비교적 쉽게 예측할 수 있다.
기술용어통 category-bandi 기본․공통 웨이퍼처리공정

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