광여기(勵 起)애싱장치 - photo excited ashing system

기술용어통 반디통 용어집
애싱실 안에 반응성가스를 도입하여, 자외선 등의 빛을 가스 또는 웨이퍼로 조사하여, 반응성가스와 레지스트와의 화학반응을 촉진시키면서 애싱하는 장치.
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