광(光)기상 에피택셜 성장장치 - photo assisted vapor phase epitaxial growth system

열에너지에 빛에너지를 부과하여 기체분자와 웨이퍼표면을 활성화하여, 에피택셜성장을 하는 장치. 저온에서의 에피택셜성장이 가능하다는 것이 특징이다.

기술용어통 category-bandi photo assisted vapor phase epitaxial growth system 광_光_기상 에피택셜 성장장치 에피택셜 성장장치 웨이퍼처리공정 광(光)기상 에피택셜 성장장치 박막형성장치