광전류법 P(H)C - photo - current method photo - conductance method

기술용어통 반디통 용어집
빛에너지를 제거하고, 트랩캐리어를 빛으로 여기시킬 때 발생하는 접합전류를 검출하는 방법. 벌크(bulk)에서 전도성이 변함으로써 검출되는 경우는 광전도법이라고 한다.
기술용어통 category-bandi 물성검사장치 검사 광전류법 P_H_C 웨이퍼제공정 photo- current method photo- conductance method 광전류법 P(H)C

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