펠리클 - pellicle

마스크와 레티클에 이물이 끼는 것을 막기 위해, 마스크와 레티클 위에서 일정한 거리까지 설계한 투명한 보호막. 이 일정한 거리(stand off)는 보호막 표면 위에 부착된 이물이 웨이퍼로 전사되는 성질 때문에 설계된다. 또, 보호막은 사용하는 노광광원에 대하여 투과성을 가지며, g선용, i선용, ig선공용, 광대역파장용 등이 있다.