위치정밀도 - pattern position accuracy

비교 기준을 기초로 하여 절대적, 상대적 위치 정밀도로 나눈다. 절대적 위치 정밀도는 본래 원하는 설계위치와 가판 위에 묘화된 패턴 위치와의 차이의 정밀도이고, 상대적 위치정밀도는 비교 기준이 되는 마스크 위의 패턴과 검사대상인 마스크 위의 패턴 위치와의 차이의 정밀도를 말한다.