노광묘화장치 - pattern exposure system

기술용어통 반디통 용어집
가시광선과 적외선 또는 전자빔을 이용해, 마스크 블랭크 위에 원화패턴을 묘화하는 장치인데, 패턴 제너레이터․콘택트 프린터․포토리미터․전자빔 묘화장치․레이저 묘화장치 등이 있다.
기술용어통 category-bandi 노광․묘화장치 마스크제조공정 패턴형성장치 pattern exposure system 노광묘화장치

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