필터를 삽입한 박막을 투과한 빛을 포토 멀티플라이어(photo multiplier)로 받아, 광학농도를 측정하는 장치. 입사광 Io, 투과광 I1 라고 할 때의 광학농도(OD)는 log Io/I1로 표시된다.
반/디 용어집검사장치마스크 블랭크 제조
그루브롤러 메인 롤러 - grooved roller main roller
와이어를 필요한 피치로 끌어당기기 위해 수십~수백 개의 홈을 설치한 롤러. 내마모성 재질로 만들어진다. 보통 와이어톱받침대에 2~4개를 사용한다.
반/디 용어집기계가공절단장치-하드기능
공기가압방식 - air pressure type
마운트판의 가압방식 중에서 공기압을 이용한 에어실린더를 사용하여 탑링(top ring) 위에 하중을 가하는 방식. (주기적으로 탑링의 하중을 경감하는 방식으로 에어실린더를 작용시키는 감압방식도 있다.)
반/디 용어집웨이퍼제공정폴리싱
공기 장력 - air tension
와이어본딩에 있어서, 볼압착 모양의 안정을 위하여, 와이어에 대하여 장력을 부가하는 수단으로 공기를 이용한다. 루프 모양을 안정시키는 작용도 있다.
반/디 용어집조립공정본딩
감시조 - monitor tank
폐수처리장치의 출주 전에, 처리수가 공공용수역 도는 하수도의 방류기준에 합격하는가를 측정 감시하기 위해 설치한 체류조
반/디 용어집설비․환경공정물
고전압 터미널 - high voltage terminal
이온에너지를 높이기 위해, 접지전위보다 높은 가속전압이 인가된 터미널. 후단가속방식을 채용하는 이온주입장치에 있어서는, 가스도입계, 이온원 및 질량분석계가 포함된다.
반/디 용어집이온 주입장치high voltage terminal
가상 워크그룹
스위칭 허브에서 사용하는 필터링 기술. 주로 그룹의 시큐리티와 대역 확보에 사용하며, 워크그룹을 초월하는 프레임을 폐기하는 기능을 제공한다. 보통 워크그룹을 초월하는 통신을 실행하고자 할 때에는 라우터로 워크그룹 간을 접속한다. 버추얼 LAN과 유사하나, 버추얼 LAN은 콜리전 도메인을 논리화할 때의 호칭으로도 사용하는데 반해 가상 워크그룹은 브로드캐스트 도메인을 의미하는 것이 일반적이다.
통신 용어집가상 워크그룹
가스박스 - gas box
이온발생용 가스통(gas bottle)의 수납상자. 보통 3~4개의 가스통이 수납되어 있다. 각 가스라인은 가스통, 감압(減壓)밸브, 정지밸브(stop valve) 및 유량조절밸브 등으로 구성되어 있다. 독성가스를 사용하기 때문에, 국소적인 배기(排氣) 등의 가스누설에 대한 안전대책이 마련되어 있다.