기체패턴과 유속이 같지 않은 청정실. 내실공기중 부유입자는, 천장 또는 벽의 일부에 설치된 취출구에서 유입된 청정공기로 희석시키고, 흡입구로 실외로 배출된다. 청정도클래스6 이하의 경우에 이용된다.
반/디 용어집가스설비․환경공정
본딩패드 - bonding pad
칩과 외부인출선을 연결할 목적으로 칩 위에 형성된 금속피막의 전극.
반/디 용어집조립공정기본․공통
수평콜렛 플랫콜렛 - flat collet
끝부분이 평면인 콜렛.
반/디 용어집조립공정본딩
약품공급배관 - chemical distribution piping
반도체제조용약품을, 공급장치에서 유즈포인트까지 공급하는 배관. 급속불순물의 용출, 미립자발생, 약품에 의한 부식 등을 막기 위해, 용제계약품으로는 스테인레스동배관, 산․알칼리계 약품으로 PFA(테트라플로로에틸렌-퍼플로로알킬비닐에텐 공중합체)튜브가 일반적으로 사용되고 있다.
반/디 용어집설비․환경공정물
스탠드 얼론
컴퓨터가 다른 컴퓨터와 네트워크로 접속되어 있지 않고 독립적으로 가동하는 것을 말한다.
통신 용어집스탠드 얼론
셋업: 맞춤 - setup
자기에게 맞는 옷을 구입하기 위해 양복점에 가면 재단사는 고객의 체형과 크기를 살펴 고객에게 어울리도록 양복을 재단하게 된다. 이렇듯 자기의 체형에 맞게 자신이 가지고 있는 물건의 형태를 맞추는 것을 셋업이라고 한다. 이와 같은 셋업은 컴퓨터에서도 해야 하는데, 그 이유는 사람들마다 체형이 다르듯이 컴퓨터도 연결되어 있는 주변기기가 저마다 다르기 때문이다. 어떤 사용자는 외부기억장치로 20MB 하드 디스크를 사용하며 또 다른 사용자는 40MB 하드 디스크를 사용하기도 한다. 그러나 컴퓨터의 바이오스는 자기를 사용하고 있는 사용자가 자기에게 어떤 주변기기를 부착시켰는지 전혀 알지 못한다. 그러므로 사용자는 컴퓨터에게 어떠한 주변기기를 사용하고 있는지를 알려 주어야 한다. 또한 프로그램에도 그 프로그램을 사용하고자 하는 컴퓨터의 체형에 프로그램을 맞추어야 한다. 예를 들어 컬러 모니터와 마우스를 사용하는 컴퓨터에 흑백 모니터와 키보드를 사용하는 것처럼 프로그램을 맞추면 옷을 잘못 재단하여 몸에 맞지 않는 것처럼 프로그램이 제대로 작동하지 못한다. 그러므로 컴퓨터 사용자들은 항상 자신이 사용하고 있는 컴퓨터 시스템의 사양을 제대로 파악하여 하드웨어나 소프트웨어에 알맞은 셋업을 해두어야 한다.
통신 용어집셋업: 맞춤setup
셀 - cell
(1)칩 패턴을 형성하는 패턴 데이터의 단위의 명칭으로써, 메모리 패턴 등에 동일한 패턴이 반복하여 배열되어 있는 경우에 반복되는 기본 단위의 패턴. (2)라스터 스캔방식의 전자빔 묘화장치의 라스터 주사(走査)폭과 같거나, 혹은 주사폭을 자연수(自然數)로 나눈 값과 같은 폭을 가지는 띠 모양의 작은 영역을, 편의상 띠의 긴 쪽 방향으로 일정한 단위의 구역으로 나눌 수 있는 대형 영역. 프레임은 이런 대형 영역을 긴 쪽 방향으로 틈새 없이 병렬로 배치한 것의 집합이다. 묘화장치가 가지고 있는 도형 데이터의 기억 또는 화소의 발생을 처리하는 처리용양의 단위와 동일하다.
반/디 용어집노광․묘화장치마스크제조공정
배럴형 애싱 장치 - barrel
배치처리형 애싱장치. 원통형의 석영챔버 안으로 반응가스를 도입하고, 또 고주파전력을 인가하여 애싱하는 장치. 전극 모양에는 대향형(對向型)과 동축형(同軸型)이 있다.
반/디 용어집애싱장치웨이퍼처리공정
양면래핑선반 - double side lapping machine
가공물을 지지하는 유성캐리어를 사용하여 이 캐리어를 유성운동( 자전과 공전을 동시에 함)시켜, 상하래핑정반 사이에 가공물을 랩(lap)하는 방식으로 양면을 동시에 가공할 수 있는 장치. 기계의 크기와 캐리어사이즈(인치 수)로 표시한다.