오존모니터 - ozone monitor

오존세정과 오존산화용으로 공급되는 가스중의 오존농도의 분석과, 자외선램프의 주변에서 발생하는 오존의 농도를 관리하는 모니터. 측정원리에는 자외선흡수법 및 격막식 폴라로그래피법이 있다. 또, 웨이퍼세정에 이용되는 초순수 중의 미량오존의 농도를 관리하는 것에도 사용된다.