산화 - oxidation system

웨이퍼에 산화막을 형성하는 것. 온도, 분위기, 압력 및 장치의 형식에 의하여 상압열산화장치, 고압열산화장치, 플라즈마양극(陽極)산화장치로 구분된다. 산화막의 두께 조절과 막 속의 금속오염 방지를 위해, 분압 산화염산 첨가산화, TCA(tolichromethan)첨가산화, DCE(dechromethylen)첨가산화 등의 방법을 사용하는 경우도 있다.