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중복정밀도 - overlay accuracy registration accuracy
기술용어통 반디통 용어집
기판 위에 패턴을 형성하여, 다음 공정에서 다시 패턴을 형성할 때, 앞의 기판과의 상대적인 위치정밀도. 전(全)패턴형성공정을 종료한 기판에 있어서, 패턴 사이의 상대적인 위치정밀도는, 중복정밀도에 대응하여, 토탈중복정밀도라고 한다.
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