아웃가스 - outgassing

재료에서의 가스방출. 청정실건축재, 각종제조장치에는 다양한 종류의 재료가 사용되고 있어, 재료에 의해서는 암모니아 등의 무기성가스, DOP 등의 유기성가스를, 장기간에 걸쳐 방출하여, 웨이퍼공정에 악영향을 미치는 것이 있다. 이 때문에 사용재료의 충분한 조치가 필요하다.