오리엔테이션플랫 정렬기 - orientation flat aligner flat orienter

기술용어통 반디통 용어집
플래틴에 웨이퍼를 탑재할 때, 웨이퍼의 오리엔테이션 플랫 또는 노치(notch)를 원하는 위치에 정렬하는 기기. 이 기기로 인해 이온주입할 때의 트위스트각을 결정하고, 웨이퍼틸트와 함께 이온이 웨이퍼로 입사하는 입사각을 결정한다.
기술용어통 category-bandi 이온 주입장치 웨이퍼처리공정 도핑

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