광노광장치 - optical aligner

포토레지스트에 감도가 있는 가시광선에서 자외선까지의 광선으로 노광하는 장치. 광원으로써 초고압 수은등(g선 :436nm, h선 :405nm, i선 :365nm), 엑시머 레이저(XeCl :308nm, KrF :248nm, ArF :193nm 등)가 이용되고 있다. 일반적으로 파장이 짧은 쪽이 해상도가 높다.