개방순환식냉각수설비 - open circuit condensing (cooling) water system

냉각탑 또는 열교환기에 의해 냉각된 냉각수를 송수펌프로 반도체제조장치 등의 피냉각대상물로 보내고, 냉각후에는 수수(受水)조로 개방시켜, 환원펌프로 귀환시키는 송수방식의 냉각수설비. 피냉각대상물에 배압이 가해지지 않고, 시스템의 최고압력도 낮게 된다.

기술용어통 category-bandi 초순수장치 설비․환경공정 개방순환식냉각수설비 물 open circuit condensing water system