일과식냉각수설비 - one pass condensing (cooling) water system

기술용어통 반디통 용어집
생활용수, 공업용수 등을 냉각하여 반도체제조장치 등의 피냉각대상물로 보내고, 냉각후에는 다른 용도의 물로 이용하거나 배출하여, 냉각수로는 재이용되지 않는 송수방식의 냉각수 설비. 다량의 물을 필요로 하기 때문에, 특수한 경우 이외에는 이용하지 않는다.
기술용어통 category-bandi 초순수장치 설비․환경공정

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