미립자수 - number of particles

초순수에 함유된 오염물질(contaminant)에서 무기질 입자 및 미생물입자 등으로 구성된 것. 멤브레인필터상에서 포집하여, 광학현미경과 전자현미경을 이용하여 수를 세는 방법, 혹은 인라인에 설치된 입자계수기(particle counter)로 직접 수를 세는 방법이 있다. 구해진 개수를 개/ml로 표시한다.