비일방향류형청정실 비층류형청정실 활류형청정실 - nonlamiar flow clean room turbulent flow clean room

기술용어통 반디통 용어집
기체패턴과 유속이 같지 않은 청정실. 내실공기중 부유입자는, 천장 또는 벽의 일부에 설치된 취출구에서 유입된 청정공기로 희석시키고, 흡입구로 실외로 배출된다. 청정도클래스6 이하의 경우에 이용된다.
기술용어통 category-bandi 가스 설비․환경공정 가스공급시스템 비일방향류형청정실 비층류형청정실 활류형청정실 nonlamiar flow clean room turbulent flow clean roo

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