증발잔류물측정기 - non - volatile residue analyzer

초순수 중의 불순물은 미립자수․비저항․TOC․실리카 등 개별적으로 측정되는데, 이들 불순물의 총량을 증발잔류물로써 측정하는 측정기. 초순수를 분무하여 기화시킴으로써 이 중에 함유된 입자모양의 물질 및 용재물질을 청정공기중에서 미립자 형태로 석출시켜, 이 미립자를 광학계로 측정하여 통계처리하는 것에 의해 초순수 중의 불순물농도를 ppb로 표시한다.