무증착관찰 - non evaporation observation

기술용어통 반디통 용어집
도전막을 증착하지 않고, SEM상을 관찰하는 방법. 보통, SEM관찰에서는 시료표면에 도전성이 없으면, 표면에 전하가 없는 정상적인 SEM상을 얻을 수 없지만, 가속전압을 낮게 하여, 증착없이 SEM상을 관찰할 수 있다.
기술용어통 category-bandi 검사장치 마스크제조공정 선폭․좌표측정장치 무증착관찰

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