다극 석영관형 CVD장치 - multiple parallel plate electrode plasma enhanced CVD system

석영반응관 안에 여러 전극판을 삽입하여, 이 전극 위에 여러 웨이퍼를 수직으로 설치한 구조의 용량결합의 플라즈마CVD장치. 서로 마주보는 전극판 사이에 고주파전력을 인가하여, 저압반응가스의 플라즈마를 발생시켜 박막을 형성한다.

기술용어통 category-bandi CVD 장치 다극 석영관형 CVD장치 multiple parallel plate electrode plasma enhanced 웨이퍼처리공정 박막형성장치