다중간섭 효과 정재파효과 - multiple interface effect standing wave effect

노광할 때, 레지스트막으로 입사하는 입사광과 웨이퍼에서 반사되는 반사광이 간섭하여, 정재파가 발생하는 것. 이 영향으로 레지스트 막두께가 달라지고, 선폭이 변동하는 현상.

기술용어통 category-bandi 웨이퍼처리공정 레지스트 처리 현상장치 multiple interface effect standing wave effect 다중간섭 효과 정재파효과