멀티챔버 시스템 - multi

배선공정, 박막형성 공정 등에 있어서, 개개의 다른 공정을 적당히 조합하여, 같은 분위기(雰圍氣)에서 동시에 처리하여, 공정의 총체적인 기능을 향상시킬 목적으로 여러개의 챔버를 하나로 합친 진공장치. 반송실을 중심으로 주위에 공정실을 배치하는 방사상 타입(type)과, 중앙의 반송실과 그 양쪽에 공정실을 배치한 선형 타입이 있다.