마운트판 탑플레이트 블록 캐리어플레이트 - mount plate top plate block carrier plate

웨이퍼를 부착하기 위한 원판. 화학적으로 침투되지 않는 재질로 경년변화(aging, 시간이 지나면서 변하는 것), 하중에 대한 변화가 작은 것이 사용된다.(예, 세라믹스와 유리 등)

기술용어통 category-bandi 웨이퍼제공정 mount plate top plate block carrier plate 폴리싱장치-성능․정밀도 폴리싱 마운트판 탑플레이트 블록 캐리어플레이트