변형조명 경사입사조명 - modified illumination oblique incidence illumination

광노광장치에 있어서, 광학계의 광축 위에 없는 개구를 넣어, 레티클의 노광광속(光束)을 비스듬하게 입사시키는 조명법. 레티클에 의해 회전한 0차광과 +1차 혹은 -1차만으로 노광하는 것으로, 해상도와 DOF를 향상시킨다. 개구 형상에 의해 고리형 조명, 4중극조명 등으로 부른다.