혼류형청정실 - mixed flow clean room

기술용어통 반디통 용어집
한 공간 안에 일방향형과 비일방향형이 혼재하는 형식의 청정실. 생산라인상에서는 일방향형으로 하여 높은 청정도를 확보하지만, 그 외의 통로, 서비스영역은 비일방향류형으로 하여, 설비비 및 운전비의 저감을 도모하는 경우가 많다.
기술용어통 category-bandi 가스 설비․환경공정 가스공급시스템

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