미러렌즈 투영노광 장치 - mirror - lens projection aligner

기술용어통 반디통 용어집
투영광학계가 반사 및 굴절계로 구성되어 있는 노광장치. 등배의 투영광학계를 이용한 미러렌즈등배 투영노광장치, 축소투영광학계를 이용한 미러렌즈축소 투영노광장치가 있다.
기술용어통 category-bandi 웨이퍼처리공정 노광 노광장치 미러렌즈 투영노광 장치 mirror-lens projection aligner

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