축소환경 - mini environment

제품을 오염원으로부터 격리하기 위해 주위가 둘러싸여진 국소적 청정환경으로, 실용화된 대표적인 것으로, SMIF-Pod, CAVS 등이 있다. 반도체제조장치의 웨이퍼 I/O부분, 웨이퍼반송계 등으로 주위를 설계하고, 국소적으로 고청정도공간을 형성한다. 청정실 전체의 고청도화가 필요없고, 비용절감. 에너지절약의 이점이 있다. 클린튜브방식은 웨이퍼표면의 자연산화막의 형성을 억지한다.