마이크로파 플라즈마 CVD장치 - microwave plasma enhanced CVD system

마이크로파 도파관과 플라즈마발생용 가스 주입구를 갖고 있으며, 마이크로파로 여기(excitation)되는 플라즈마방전실로 구성된 플라즈마 CVD장치. 마이크로파에 의해 발생하는 플라즈마 흐름의 밑부분에 반응가스를 주입하고, 히터를 내장한 서셉터 위에서 저온으로 박막을 형성한다. 플라즈마방전장치에 직접반응가스를 주입하는 방법도 있다.