마이크로로딩 효과 RIE 락 - microload

차기의 구경 또는 트렌치가 축소되어 원래 식각속도가 저하되는 현상. 많은 경우 ‘마이크로로딩 효과’와 ‘RIE 락’은 동의어로 사용되지만, 같은 크기의 패턴이 서로 다른 밀도로 존재할 때에 식각속도가 다른 현상을 마이크로로딩 효과라고 부르는 것도 있다.

기술용어통 category-bandi 건식식각장치 웨이퍼처리공정 식각(etching) microload- ing effect 마이크로로딩 효과 RIE 락

마이크로로딩 효과 RIE 락 - microload - ing effect