유기금속 에피택셜 성장장치 MOPVE 장치 OMPVE 장치 - metal organic vapor phase epitaxial growth system MOVPE system OMVPE system

유기금속화합물과 PH3, AsH3 등의 수소화합물을 이용하여 GaP, GaAs 등의 화합물반도체 단결정을 성장시키는 장치. 수소가스를 캐리어가스로 이용하고, 액체금속화합물을 버블링하여, 이것들의 증기를 함유한 가스와 수소화합물가스를 반응실에서 열분해한다.