MOMBE 성장장치 가스소스 분자선 에피택셜 성장장치 CBE장치 - metal organic molecular beam epitaxial growth system chemical beam epitaxial system

유기금속CVD장치(MOCVD)와 분자선 에피택셜성장장치(MBE) 각각의 약점을 보완하여 만들어진 장치. 박막성장용 재료로서 가스소스를 이용하기 때문에 MBE의 우수한 결정 제어성을 더해지고, MOCVD의 특징을 갖추고 있어 선택성장이 가능하다.