금속 CVD - metal CVD

금속화합물을 열분해하여 금속막을 만드는 CVD법. 미세패턴의 배선, 구멍매립, 평탄화를 위해 선택W CVD, 전면W CVD법(blanket W CVD)가 실용화되고 있다. 또, 배선재료로써 비저항이 작은 Cu유기화합물을 소스로 하는 Cu CVD가 있다.