MCL - metal contamination level

기술용어통 반디통 용어집
실리콘 웨이퍼의 표면금속오염양을 표시하는 단위의 하나로, 실리콘 웨이퍼의 단위면적당 존재하는 금속불순물의 원자수로 나타낸다.(1MCL=1010atoms/㎠) 또, 표면금속오염량의 개념을 표시하는 용어로써 사용되는 것도 있다.
기술용어통 category-bandi 검사 표면 결함․이물검출 웨이퍼제공정

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