메가헤르쯔 초음파 세정장치 - megasonic cleaning equipment

800kHz에서 1MHz의 주파수대역의 초음파를 사용하는 세정장치. 메가헤르쯔 초음파세정에는 캐비테이션(cavitation)의 발생이 없고, 강한 진동가속도가 물분자에 부여되므로 웨이퍼에 대미지를 주지 않고, 서브미크론의 입자를 제거하는 것이 가능하다.

기술용어통 category-bandi 웨이퍼처리공정 습식세정장치 세정 megasonic cleaning equipment 메가헤르쯔 초음파 세정장치