매칭기기 매칭박스 매칭네트워크 - matching unit(box) matching network

기술용어통 반디통 용어집
플라즈마 상태의 변화와 함께, 방전 중의 임피던스가 변동하므로, 튜닝회로를 설계하여, 인가된 고주파출력에 대하여 반사파가 가장 작아지도록 인피던스를 조정하는 기기. 고주파전극의 근방에 배치된다.
기술용어통 category-bandi 건식식각장치 웨이퍼처리공정 매칭기기 매칭박스 매칭네트워크 식각(etching) matching unit

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