유량측정기 매스플로우미터 MFM

가스의 유량을 전기적으로 계측하는 장치. 금속성모세관의 외측에 말려진 2개의 자기발열저항체 사이에, 유체가스의 질량유량에 대응하여 발생하는 온도차를, 전기값으로 검지한다. 압력손실이 적고, 정밀도가 높다. 제어밸브 및 전기회로와 조합하면 반도체제조용가스의 공급을 자동적으로 제어하는 유량제어기(MFC)를 구성할 수 있다.