마스크이물 검사장치 - mask contamination inspection system

빛의 투과 또는 산란, 반사 등을 이용하여 마스크 위의 이물과 흠, 결함 등을 검사하는 장치. 대상시료에 따라, 레티클 이물검사장치라고도 한다. 또, 패터닝 전의 마스크 시료와 패터닝 후의 시료에 의해 장치가 다른 경우도 있다.

기술용어통 category-bandi 검사장치 마스크제조공정 이물․외관검사장치 mask contamination inspection system 마스크이물 검사장치