마그네트론 - magnetron

기술용어통 반디통 용어집
공동공진기(cavity resonator)로써 작동하는 원통 모양의 양극과, 이 중심축 위에 설계된 가는 양극에 의해, 양극 중심축방향의 정자장(magnetostatic field)과 작용공간에의 전자와의 상호작용로 마이크로파를 발진하는 진공관.
기술용어통 category-bandi 건식식각장치 웨이퍼처리공정 식각(etching) magnetron 마그네트론

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