자기장쵸크랄스키결정성장법 MCZ법 - magnetic Czochraski crystal growth method
기술용어통 반디통 용어집
자기장을 인가하여 용융액의 운동점성률을 높게한 상태에서 쵸크랄스키법으로 결정성장하는 방법. 자기장의 작용에 의해 용융액의 대류가 제어되므로 안정하게 결정을 성장시킬 수 있다. 또 실리콘 결정성장에서는 도가니재료인 석영유리(SiO2) 용융액의 반응 및 흐름이 제어되어 실리콘 결정중의 산소농도제어에 유효한 방법으로 되어 있다. 주로 횡자계(horizontal magnetic field)와 카스프자계가 사용된다.
